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檢測對象
印刷電路板,電子與機械,模塊,機電,組件和插頭,半導體封裝與互連,微系統,傳感器,執行器,MEMS和MOEMS
主要技術參數
● 管電壓:160kV或225kV
● 管類型:開放式微焦點射線管
● 靶:透射式
● 靶材:鎢靶
● JIMA分辨率:至高可達0.5μm
● 掃描方式:錐掃
● 探測器:數字平板探測器
檢測實例

檢測對象
印刷電路板,電子與機械,模塊,機電,組件和插頭,半導體封裝與互連,微系統,傳感器,執行器,MEMS和MOEMS
主要技術參數
● 管電壓:160kV或225kV
● 管類型:開放式微焦點射線管
● 靶:透射式
● 靶材:鎢靶
● JIMA分辨率:至高可達0.5μm
● 掃描方式:錐掃
● 探測器:數字平板探測器
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